Entegris液體過濾系列包括知名品牌,如Wafergard、Guardian、Protego、Intercept、Microgard、Quickchange,Optimizer、Impact、Fluorogard、Processgard、Planargard和Durapore。Entegris過濾器可為半導體應用中的工藝液體提供污染控制,如CMP漿料、濕法蝕刻和清潔酸、光化學和去離子水。所有這些過程都需要先進行過濾,以在到達晶片或基板表面之前去除引起缺陷的顆粒和附聚物。
Entegris產品系列包括濾芯過濾器和一次性過濾器,具有比較先進的連接技術。Integra提供技術支持,幫助您找到適合您應用的產品。膜類型包括UPE、含氟聚合物、PVDF、PES和聚丙烯。Entegris是膜表面改性方面的專家,可為您的化學和應用創建一個過濾器,并且停機時間比較短。
2005年Entegris,Inc.和Mykrolis Corporation合并,Mykrolis氣體過濾和凈化:在過濾和凈化空氣、散裝氣體或特定氣體時,Entegris擁有滿足您需求的專業知識,技術和解決方案。無論是使用點還是散裝氣體輸送、室內或晶圓、潔凈室或工具,Entegris都有長期提供高性能氣體和空氣凈化和過濾產品的歷史,以滿足您的需求。
全國服務熱線 021-59555122